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    發(fā)布時間: 2020-07-10 09:36    
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精密加工:納米級加工方法

納米級加工的主要方法:直接利用光子、電子、離子等基本能子的加工。

近年來納米級加工有很大的突破,例如用電子束光刻和離子刻蝕,己實現(xiàn)0.1um線寬的加工;掃描隧道顯微技術(shù)已實現(xiàn)單個原子的去除、搬遷、增添和原子的重組。
目前主要方法有:

1、納米級機械加工

2、電子束和離子束加工

3、掃描隧道顯微加工技術(shù)

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